请问老师，贵司目前现有的汤姆逊激光散射光谱仪分辨率能达到多少？能用于DUV光刻机上面的光源吗？贵司目前这项产品在测试吗？
奥普光电：
超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目，目标是研制出原理样机及工程样机，研发周期从2023年12月至2026年11月，目前尚未形成产品。感谢关注。
超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目，目标是研制出原理样机及工程样机，研发周期从2023年12月至2026年11月，目前尚未形成产品。感谢关注。
（来自 深交所互动易）
答复时间 2024-06-21 20:39:36
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