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2024-07-18 11:38:04 作者更新以下内容
从细分类别来看,东京电子在涂布显影、气体化学蚀刻、扩散炉、批量沉积四类设备上是全球市占榜首,在清洗、等离子蚀刻、金属薄膜沉积、探针台四类设备上也是市占率第二。东京电子在与阿斯麦High-NA EUV光刻机配套的高导向性电浆(等离子)蚀刻设备上处于完全垄断地位,而其探针台也是CoWoS和共封装光学CPO等先进封装的关键设备。
2024-07-18 13:24:56 作者更新以下内容
瑞士子公司UCMAG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机(EUV)的光学系统相关关键部件的清洗设备
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