公告日期：2024-05-23

证券代码：300316 证券简称：晶盛机电

浙江晶盛机电股份有限公司投资者关系活动记录表

编号：2024-5

投资者关系活动 √特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 □业绩说明会

类别 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 □电话会议 □其他

参与单位名称及 参见附件：参会投资者清单。
人员姓名

时间 2024 年 5 月 21 日—22 日

地点 杭州

上市公司接待人

投资者关系 林婷婷

员姓名

1、公司一季度经营情况？

答：2024 年 1 季度公司实现营业收入 45.1 亿元，同比增长
25.28%，归属于上市公司股东的净利润 10.7亿元，同比增长20.65%。
目前公司经营稳健，在手订单情况良好，24 年公司将继续积极研发
创新，不断开发与迭代产品，持续推动行业技术发展与进步。

2、请问公司功率半导体设备进展如何？

投资者关系活动 答：公司在功率半导体领域，先后成功研发 8 英寸及 12 英寸常
主要内容介绍 压硅外延生长设备并实现销售，以及具有国际先进水平的 8 英寸单
片式和双片式碳化硅外延生长设备，在 6 英寸外延设备原有的温度
高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上，解决了腔
体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，双片式外延设备
集成了多温场协同感应加热及流场分区控制等核心技术，具备单腔
同时加工 2 片晶圆的能力，可以在保证高外延生长品质的同时，极
大提升设备的单位产能，有效降低碳化硅外延片生产成本。成功开
发应用于碳化硅衬底片和外延片量检测的光学量测设备，实现碳化
硅量检测设备的国产化。

3、请问公司光伏设备的布局情况？

答：光伏设备领域，公司是国内技术、规模双领先的光伏设备供应商，已在硅片端、电池端以及组件端布局核心产品体系。全自动单晶硅生长炉被工信部评为第三批制造业单项冠军产品，全自动单晶炉系列产品被四部委评为国家重点新产品。公司持续引领行业新产品技术迭代，继 G12 技术路线的长晶及加工设备之后，推出环线切割机、脱胶插片清洗一体机以及硅片分选装盒一体机等高度智能化的创新型产品，通过高度集成的自动化为客户提升效率和良率，实现降本增效。基于下游更高转换效率需求，推出基于 N 型产品的第五代单晶炉，将超导磁场技术导入光伏领域，彻底打开了低氧 N型晶体生长的工艺窗口，给 N 型电池效率再次逼近理论极限带来可
能。在电池环节开发了兼容 BC 和 TOPCon 工艺的管式 PECVD、LPCVD、
扩散、退火、单腔室多舟 ALD 和舟干清洗等设备，通过创新的设计和工艺实现竞争的差异化。在组件环节强化了叠瓦组件的整线设备供应能力。在智能化领域，公司基于云计算和大数据应用，实现装备链的自动化和智能化，通过聚焦未来工厂的产业数字大脑及智能制造基地融合，为客户提供基于差异化竞争的智能化工厂整体解决方案。
4、公司碳化硅衬底产能布局及进展

答：碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，具有高禁带宽度、高电导率、高热导率等优越物理特征，在新能源汽车、新能源发电、轨道交通等领域的应用有着不可替代的优势。2023 年 11 月 4
日，公司举行了“年产 25 万片 6 英寸、5 万片 8 英寸碳化硅衬底片
项目”签约暨启动仪式，旨在加快半导体材料端的关键核心技术攻关，实现国产化替代，这一举措标志着公司在半导体材料领域的技术实力和市场竞争力将进一步提升。公司积极推进项目进度与产能提升，目前 6、8 英寸碳化硅衬底片已实现批量销售，量产衬底片的核心位错达到一流水平。

5、美晶新材上市进度及对公司的影响

答：美晶新材料向深圳证券交易所提交的首次公开发行……
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