光伏与芯片都需要扩散、清洗等设备，公司有无打算进军集成电路领域？
捷佳伟创：
您好，公司积极布局半导体装备领域，公司用于集成电路的专用湿法工艺设备持续获得下游客户批量订单及重复订单，带来近年订单的快速增长。同时，公司用于第三代半导体的碳化硅高温热处理工艺设备顺利发货到国内半导体IDM头部企业，为公司拓展新领域业务奠定了坚实基础，后续公司会持续加大在半导体装备的研发生产布局，谢谢
您好，公司积极布局半导体装备领域，公司用于集成电路的专用湿法工艺设备持续获得下游客户批量订单及重复订单，带来近年订单的快速增长。同时，公司用于第三代半导体的碳化硅高温热处理工艺设备顺利发货到国内半导体IDM头部企业，为公司拓展新领域业务奠定了坚实基础，后续公司会持续加大在半导体装备的研发生产布局，谢谢
（来自 深交所互动易）
答复时间 2024-04-30 16:41:09
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