干与湿,有那么复杂吗?
用过光学显微镜的都懂,在盖板片与物镜之滴一滴专有油,一下子就有了很大改进。干与湿的区别,也就这么一点点,只要这个特殊的液体光学性质稳定,不与光刻胶与物镜反应,就满足了基本条件,浸没液又不直接接触基板,工艺设计能有多难?重点是专利,有浸没式的发明鼻祖在,解决不了这个专利问题才怪。
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