公告日期：2024-05-08

国泰君安证券股份有限公司

关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司

使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见

国泰君安证券股份有限公司（以下简称“国泰君安”或“保荐机构”）作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”、“上市公司”或“公司”）的保荐机构，根据《公司法》、《证券法》、《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《上海证券交易所股票上市规则》等有关规定，对至纯科技使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的相关事项进行了审慎核查，具体情况及核查意见如下：

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）核发的《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）批准，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）以非公开发行股票的方式向特定投资者发行 47,749,661 股股票（以下简称“本次发行”），发行价格为 28.79 元/股，募集资金总额 1,374,712,740.19 元，扣除各
项发行费用后的募集资金净额为 1,354,528,070.70 元。上述资金已于 2020 年 12
月 23 日到位，众华会计师事务所（特殊普通合伙）对本次发行募集资金到达公司账户情况进行了审验并出具了众会字(2020)第 8380 号《验资报告》。

2024 年 5 月 7 日，公司召开第五届董事会第三次会议及第五届监事会第三次
会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币 12,000.00 万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 6 个月。

二、募集资金投资项目的基本情况

截至 2023 年 12 月 31 日，公司 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目情
况如下：

单位：万元

序 项目名称 已变更项目 募集资金承诺 截至 2023 年 12 月
号 投资总额 31 日累计投资金额

1 半导体湿法清洗设备扩产 - 25,500.00 19,859.84

项目

单片湿法工艺模

2 半导体晶圆再生二期项目 组、核心零部件研 38,471.27 2,293.21

发及产业化项目

3 光电子材料及器件制造基 - 31,000.00 19,176.04

地建设项目

4 补充流动资金或偿还债务 - 40,600.00 40,461.01

合计 135,571.27 81,790.10

2021 年 1 月 13 日，经公司第三届董事会第四十二次会议审议通过，公司分
别将募集资金31,000万元增资至光电子材料及器件制造基地建设项目实施主体；将募集资金 25,500 万元增资至半导体湿法清洗设备扩产项目实施主体。

公司 2023 年 12 月 7 日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第
三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，公司结合 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，该议案已经 2023 年第三次临时股东大会审议通过。

三、本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的计划

根据募集资金投资项目的资金使用计划及项目的建设进度，公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，为了提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，公司拟使用不超过人民币 12,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事……
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