中微公司开始染指光刻机
以一台5nm光刻机为例，它需要十余万个零件，机器重量180吨，光是组装就需要一年时间，而这些零件都是世界合作的产物。比如，其镜头来自德国的卡尔蔡司，机电设备来自美国的Sparton，准分子激光源来自日本的Gigaphoton，电子束检测设备来自中国台湾的汉微科。而日前中微二十周年致辞，尹总称公司开始开发电子束检测设备！
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