公告日期：2024-10-31

证券代码：688012 证券简称：中微公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司

投资者关系活动记录表

☐特定对象调研 分析师会议

☐媒体采访 业绩说明会

投资者关系

活动类别 ☐新闻发布会 ☐路演活动

☐现场参观

☐其他（请文字说明其他活动内容）

时间 2024年10月

地点 上海市浦东新区泰华路188号中微公司

副总经理、财务负责人：陈伟文

上市公司 副总经理、董事会秘书：刘晓宇

接待人员

证券事务总监：胡潇

公司近况介绍：

中微公司聚焦高端半导体及泛半导体设备，坚持创新突破，2024 年
前三季度业绩保持高速增长，产品交付和产值再创历史新高。

2024 年前三季度（1-9 月）公司营业收入为 55.07 亿元，同比增长

36.27%。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可。
2024 年前三季度刻蚀设备收入为 44.13 亿元，较上年同期增长约

投资者关系活动 53.77%；公司新产品 LPCVD 设备实现首台销售，收入 0.28 亿元；公司
主要内容介绍 EPI 设备已顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与
MTM 器件客户的工艺验证。

2024 年前三季度（1-9 月）公司新增订单 76.4 亿元，同比增长约

52.0%。其中刻蚀设备新增订单 62.5 亿元，同比增长约 54.7%；LPCVD 新
增订单 3.0 亿元，新产品开始启动放量。

2024 年前三季度（1-9 月）公司共生产专用设备 1,160 腔，同比增长
约 310%，对应产值约 94.19 亿元，同比增长约 287%，为公司后续出货及

确认收入打下了较好的基础。2024 年 9 月末发出商品余额约 35.07 亿元，
较年初余额的 8.68 亿元增长 26.40 亿元；2024 年 9 月末合同负债余额约
29.88 亿元，较年初余额的 7.72 亿元增长约 22.16 亿元。

问答环节主要内容：
1、 请问公司前三季度收入中，CCP 及 ICP 设备占比分别为多少？
答：2024 年前三季度，公司等离子刻蚀设备收入 44.13 亿元，占总收入比
80.13%；其中 CCP 收入 23.87 亿元，占总收入比 43.33%；ICP 收入 20.26
亿元，占总收入比 36.79%。
2、 请问公司对于薄膜沉积类设备产品规划是怎样的？
答：公司目前在研发的薄膜沉积类产品一共有 20 多类，2023 年已经付运
客户端的设备有 6 类，主要为 CVD/HAR/ALD W 钨设备，TiN/TiAI/TaN
ALD 设备。2024、2025 年，公司会新增 10 余类产品交付客户。
3、 请问公司如何看待三季度毛利率的边际变化？
答：单一季度产品结构和客户结构的差异均会造成毛利率波动。公司 2024
年 1-9 月份的毛利率为 42.22%，2023 年同期 1-9 月份毛利率为 43.45%，同
比减少 1.23pct，主要是由于确认收入的产品结构所带来的正常波动。
4、 请问公司未来研发投入的趋势？
答：公司会继续保持研发资源的高效投入。2024 年 1-9 月，公司研发投入占营业收入的比例是 28.03%。随着公司收入规模不断的增长，研发投入占营业收入的比例有望下降。
5、 请问公司在先进封装设备的研发进展如何？
答：公司非常关注先进封装的市场机会。公司目前现有的 TSV 设备可以使用在先进封装领域，同时公司也已布局其他应用于先进封装的设备产品，将根据客户需求情况逐步导入市场。
6、 请问公司订单持续高速增长的原因是什么，以及如何看待明年公司的增长？……
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