再说一遍全产业链已经国产化!懂得都懂!
Extreme Ultraviolet Radiation Generation Device and Lithography Equipmen成功研发,发明专利的申请号为CN202310226636.7;由王伟伟、付辉、卢嘉玺、张洪博、蔡万宠和张子辰等人组成的核心团队研发。该专利描述了一个复杂的系统,包括腔体、靶材发生器、激光发生器、收集器镜、电极板和气控部件等关键组成部分。
2024-09-12 20:31:09 作者更新以下内容
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