-工信部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,其中电
$中芯国际(SH688981)$ - 工信部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,其中电子专用装备目录下的集成电路设备方面,出现了氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65纳米,套刻精度≤8纳米。这意味着国产光刻机已不再是“实验品”,进入了可以大规模应用、批量生产及正式投入使用的阶段。
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