ArF光刻胶有26款产品
其中ArF-immersion15款,ArF-dry 11款,可应用于14-90nm制程节点;有9款ArF-immersion及ArF-dry光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产,品种 类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及LOGIC,3D NAND,DRAM等应用领域。2022 年以来形成销售的Arf光刻胶有4款。
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