2024年9月27日，半导体设备ETF基金(159327.SZ)收涨6.62%，成交1664.29万元。净流出681.31万元（净赎回份额*单位净值），居全市场第一梯队。

　　拉长时间看，该基金连续4天资金净流出，累计流出1382.40万元，居可比基金前二。

　　资金流出也带来了份额的减少，该基金最新份额较前一日减少700.00万份，跌破1.50亿份，创历史新低。与此同时，该基金最新规模达1.40亿元。