截至10月31日收盘，光刻机概念上涨5.24%，位居概念板块涨幅第1，板块内，30股上涨，炬光科技、茂莱光学等20%涨停，张江高科、永新光学等涨停，富创精密、波长光电、新莱应材等涨幅居前，分别上涨18.11%、10.73%、8.58%。跌幅居前的有百傲化学、大族激光等，分别下跌4.81%、0.77%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入1.66亿元，其中，15股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是张江高科，今日主力资金净流入5.45亿元，净流入资金居前的还有富创精密、永新光学、茂莱光学等，主力资金分别净流入1.40亿元、5112.69万元、5026.78万元。

　　资金流入比率方面，张江高科、永新光学、富创精密等流入比率居前，主力资金净流入率分别为38.86%、15.98%、13.33%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜