凌云光与德国Vanguard合作的全自动3D光刻耦合封装平台，采用3D光刻工艺，
$巨轮智能(SZ002031)$ 凌云光与德国Vanguard合作的全自动3D光刻耦合封装平台，采用3D光刻工艺，可制备出任意形状高分子聚合物光波导和微光学透镜，实现芯片-芯片/芯片-光纤光耦合互联 。其高速、高精度驱动，分辨率可达20nm，高精度定位平台的（x,y）行程范围≥250mm，在光刻耦合封装领域达到较高精度
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