上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）近期在德国申请了6项与极紫外（EU
$张江高科(SH600895)$ 上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）近期在德国申请了6项与极紫外（EUV）光刻机相关的专利，这一消息在海外媒体中引起了广泛关注。这些专利的申请表明中国在EUV光刻技术领域可能已经取得了重要进展。EUV光刻技术是制造先进半导体芯片的关键技术，对于提升国内半导体产业的自主能力具有重要意义
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