至纯科技：
以支持设备为主的系统集成业务一直保持持续增长，公司已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，目前支持设备业务量接近系统集成业务总量的 40%，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固。据统计，公司高纯工艺业务在国内集成电路市场占比超过40%。