深圳光峰科技股份有限公司取得大面积光栅曝光系统专利，提高传统光刻的大面积光栅拼接精度

金融界
2024-12-07 16:10北京富华创新科技发展有限责任公司官方账号,优质财经领域创作者
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金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，深圳光峰科技股份有限公司取得一项名为“大面积光栅曝光系统”的专利，授权公告号CN 222105677 U，申请日期为2024年2月。