公告日期：2024-10-30

上海市锦天城律师事务所关于

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第四个归属期符
合归属条件暨作废部分限制性股票之

法律意见书

地址：上海市浦东新区银城中路 501 号上海中心大厦 9/11/12 层

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上海市锦天城律师事务所关于

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第四个归属期符合归
属条件暨作废部分限制性股票之法律意见书

致：中微半导体设备（上海）股份有限公司

上海市锦天城律师事务所（以下简称“本所”）接受公司的委托，担任公司2020 年限制性股票激励计划的专项法律顾问。

本所律师根据《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）及《科创板上市公司自律监管指南第 4 号——股权激励信息披露》（以下简称“《监管指南 4 号》”）等有关法律、法规、规范性文件及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，就公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第四个归属期符合归属条件暨作废部分限制性股票相关事项出具本法律意见书。

对出具本法律意见书，本所及本所律师声明如下：

1、本所及本所律师依据《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
2、为出具本法律意见书，本所及本所律师审阅了公司提供的与出具本法律意见书相关的文件资料，对相关的事实和资料进行了核查和验证。公司对本所保证已经提供了本所及本所律师认为出具本法律意见书所必需的、真实的原始书面材料、副本材料或其他口头材料，并保证上述文件真实、准确、完整，文件上所有签字与印章真实，复印件与原件一致。

3、对于出具本法律意见书至关重要而又无法得到独立的证据支持的事实，本所及本所律师依赖于有关政府部门、公司、其他有关单位或有关人士出具或提供的证明文件、证言。

4、本所及本所律师不对有关审计、会计等专业事项和报告发表意见。本所及本所律师在本法律意见书中对有关会计报表、审计报告的某些数据和结论进行引述时已履行了必要的注意义务，但该等引述并不意味着本所及本所律师对该等数据和相关结论的合法性、真实性和准确性做出任何明示或默示的担保或保证，对于该等文件及其所涉内容，本所及本所律师依法并不具备进行核查和做出判断的合法资格。

5、本所及本所律师同意将本法律意见书作为公司本次实施事项的必备法律文件之一，随同其他材料一同提交上交所予以公开披露，并愿意对本所及本所律师出具的法律意见书依法承担相应的法律责任。

6、本法律意见书仅供公司实施本次实施事项之目的而使用，除非事先取得本所及本所律师的书面授权，任何单位和个人均不得将本法律意见书或其任何部分用作任何其他目的。

基于上述，本所及本所律师按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出具本法律意见书，具体如下：

释 义

在本法律意见书中，除非文义另有所指，下列词语具有以下含义：

公司、中微公司 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司

《限制性股票激励计 指 《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年限制
划》 性股票激励计划（草案修订稿）》

《考核管理办法》 指 《2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核
管理办法》

限制性股票激励计划 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年限制性
股票激励计划

限制性股票 指 符合本计划授予条件的激励对象，在满足相应归属条
……
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