公告日期：2025-01-15

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-007
中微半导体设备（上海）股份有限公司

2024 年年度业绩预告的自愿性披露公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）预计 2024 年
营业收入约 90.65 亿元，较 2023 年增加约 28.02 亿元，同比增长约 44.73%。其
中，2024 年刻蚀设备销售约 72.76 亿元，同比增长约 54.71%。LPCVD 薄膜设备
2024 年实现首台销售，全年设备销售约 1.56 亿元。

根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，目前在研项目涵盖六类
设备，超二十款新设备的开发。2024 年全年公司研发投入 24.50 亿元，较 2023年增长11.88亿元（增长约94.13%），研发投入占公司营业收入比例约为27.03%。
公司预计 2024 年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净
利润为 12.80 亿元至 14.30 亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加 0.89
亿元至 2.39 亿元，同比增加约 7.43%至 20.02%。

一、本期业绩预告情况

（一）业绩预告期间

2024 年 1 月 1 日至 2024 年 12 月 31 日。

（二）业绩预告情况

1. 经财务部门初步测算，公司预计 2024 年营业收入约 90.65 亿元，较 2023
年增加约 28.02 亿元，同比增长约 44.73%。其中，2024 年刻蚀设备销售约 72.76

亿元，同比增长约 54.71%；MOCVD 设备销售约 3.79 亿元，同比下降约 18.11%;
LPCVD 薄膜设备 2024 年实现首台销售，全年设备销售约 1.56 亿元。

2. 经财务部门初步测算，公司预计 2024 年度实现归属于母公司所有者的净
利润为 15.00 亿元至 17.00 亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将减少 2.86
亿元至 0.86 亿元，同比减少约 16.01%至 4.81%。

3. 经财务部门初步测算，公司预计 2024 年度实现归属于母公司所有者的扣
除非经常性损益的净利润为 12.80 亿元至 14.30 亿元，与上年同期（法定披露数
据）相比，将增加 0.89 亿元至 2.39 亿元，同比增加约 7.43%至 20.02%。

（三）本次业绩预告未经注册会计师审计。

二、上年同期业绩情况

公司 2023 年度实现营业收入 62.64 亿元。

公司 2023 年度归属于母公司所有者的净利润 17.86 亿元，归属于母公司所
有者的扣除非经常性损益的净利润 11.91 亿元。

三、本期业绩变化的主要原因

公司 2024 年度业绩预计较上年同期变化的主要原因如下：

1. 公司主营产品的刻蚀设备、薄膜设备是半导体前道关键核心设备，市场空间广阔，技术壁垒较高。公司的刻蚀设备及薄膜设备持续获得众多客户的认可，针对芯片制造中关键工艺的高端产品新增付运量及销售额显著提升。

公司始终强调技术创新并保持高强度的研发投入。目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的 LPCVD 薄膜设备和 ALD 薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD 薄膜设备累计出货量已突破 100 个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；公司 EPI 设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

公司在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得了良好进展，并积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场。

公司在南昌约 14 万平方米的生产和研发基地、上海临港的约 18 万平方米的
生产和研发基地已经投入使用，支持了公司产品付运及销售快速增长的达成。同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强。

公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。

2. 归母净利润同比减少 2.86 亿元至 0.86 亿元（减少约 16.01%至 4.81%）
的主要原因：（1）2024 年营业收入增长 44.73%下，毛利较去年增长约 9.78 亿元；（2）由于市场及客户对中微开发多种新设备的需……
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