12月24日晚，华海清科(688120)公告，公司及上海分公司拟合计使用自有资金不超过10.05亿元收购参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司（简称芯嵛公司）剩余82%的股权。交易完成后，芯嵛公司将成为华海清科全资子公司。

　　华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商，开发出了CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。今年前三季度公司实现营业收入24.52亿元，同比增长33.22%；归母净利润7.21亿元，同比增长27.8%。

　　公告显示，芯嵛公司成立于2018年，主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备。2023年、2024年1至5月，芯嵛公司归母净利润分别为-2442万元、-1516万元。

　　华海清科表示，芯嵛公司目前尚处于亏损状态，并且预计未来短期内仍将持续亏损，本次收购完成后公司也将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发。

　　据了解，离子注入设备涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。根据SEMI数据，全球及国内超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应，市场集中度较高。根据公开信息，国内开展离子注入设备研发和生产的公司包括芯嵛公司、北京烁科中科信电子装备有限公司、上海凯世通半导体股份有限公司和青岛四方思锐智能技术有限公司等。

　　近年来，中国集成电路产业规模迅速增长。根据SEMI数据，2025年全球12英寸晶圆厂设备资本支出强度预计提升，有望达到1165亿美元，同比增长20%；且2026年有望达到1305亿美元。中国市场2022年、2023年半导体设备市场规模分别达到282.7亿美元、356.97亿美元，增速明显高于全球。

　　华海清科认为，离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，离子注入设备销售额占半导体工艺设备整体销售规模的比重约为 3%至5%，市场前景广阔。芯嵛公司是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商，公司可以通过本次收购较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局。

　　值得注意的是，公告显示，本次交易确定芯嵛公司100%股权的整体价格为12.25亿元，交易价格与评估截止日芯嵛公司所有者权益账面值相比的增值率为1541.43%。

　　二级市场上，截至24日收盘，华海清科涨1.57%，报172.47元/股，总市值408.3亿元。公司在公告中提醒，尽管与标的公司处于同一产业链，在市场、产品、技术和成本等方面具有业务协同的基础，但由于管理方式的差异，仍不排除本次交易完成后双方难以实现高效整合目标的风险。

　　“芯嵛公司现阶段在国内竞争对手中，具备一定的竞争优势。”华海清科亦表示，国际竞争对手仍占据较大的市场份额，若芯嵛公司不能正确把握市场动态和行业发展趋势，不能根据客户需求及时进行技术和产品开发，或产品交付和验证进度不达预期，则其行业地位、市场份额、经营业绩等均可能受到不利影响。