12月24日，华海清科（688120.SH）发布公告，公司拟使用自有资金不超过10.045亿元收购参股子公司芯嵛公司剩余82%的股权，本次交易完成后，芯嵛公司将成为公司全资子公司。
华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商，主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。通过本次收购，华海清科可以较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局，是其积极落实“装备+服务”的平台化发展战略的又一重要突破，将进一步提升核心竞争力。
据了解，离子注入设备是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，销售额占半导体工艺设备整体销售规模的比重约为3-5%，但其涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。根据SEMI数据，在全球及国内市场中，超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应，中国大陆集成电路制造企业的离子注入设备仍然主要依赖进口，进口替代需求空间巨大，市场前景亦十分广阔。
作为国产离子注入设备研发和生产企业，芯嵛公司是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商，其核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优，且设备零部件的国产化率更高。目前，芯嵛公司实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证，已有部分机台实现验收。
华海清科表示，本次收购完成后，将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发，进一步加快落实公司“装备+服务”的平台化发展战略，丰富公司产品品类，带来新的业务增长点。
