公告日期：2024-08-30

江苏微导纳米科技股份有限公司

2024 年度“提质增效重回报”行动方案的半年度评估报告

为践行“以投资者为本”的上市公司发展理念，维护江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“公司”或“微导纳米”）全体股东利益，进一步提升公司
经营效率，增强市场竞争力，提升公司投资价值，公司于 2024 年 4 月 29 日发布
了《2024 年度“提质增效重回报”行动方案》。2024 年上半年，公司在执行“提质增效重回报”行动方案方面取得了积极成果，现将行动方案相关措施的实施情况及效果报告如下：

一、聚焦薄膜沉积设备主业，以优异的业绩成长回馈投资者

微导纳米是面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，为下游客户提供薄膜沉积设备、配套产品及服务。2024 年上半年，公司紧跟行业发展趋势，积极应对机遇与挑战，坚定不移地执行战略规划，扎实做好产品创新和客户服务，整体经营业绩实现稳健增长。报告期内，公司实现营业收入 78,697.58 万元，同比增长 105.97%，实现归属于上市公司股东的净利润为 4,284.72 万元。

（1）半导体领域：受益于下游半导体行业景气度上行、公司持续扩大的产品矩阵以及广泛的客户支持，2024 年上半年公司充分抓住核心客户的扩产机会以及对新技术、新工艺的需求，加速产品推广和验证，进入产业化验证阶段的
ALD 和 CVD 工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了 HKMG 技术、柱状电
容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比 3DDRAM、TSV 技术等。客户群体覆盖度进一步提升，客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基 OLED 等，其中超过 75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3D NAND 和 DRAM），行业重要客户需求表现强劲，形成批量的重复订单合计已超过 7.5 亿元。

除持续推进传统的逻辑、NAND/DRAM 领域的市场拓展外，公司在新型存
储、先进封装和硅基 OLED 领域内也取得较大的进展。作为行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一，在该领域内，公司 ALD 设备已进入行业重要客户端，处于量产验证阶段；在先进封装领域，公司顺利推出一系列薄
膜沉积设备产品和超低温薄膜沉积工艺方案，能够在 50~200°C 的温度区间内实现高质量的薄膜沉积，为先进封装技术的突破提供了强有力的支持，公司未来将加强相关产品的市场导入；在硅基 OLED 领域，公司已陆续获得了知名客户如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等新型显示硅基 OLED 厂商的订单，并顺利出货，部分产品实现产业化应用。相关产品以优异的性能和多领域应用，于 2024 年成功荣获中国集成电路创新联盟第七届“IC 创新奖”。

（2）光伏领域：面对当前光伏行业的调整期，公司一方面严格控制经营风险，持续关注订单执行期间市场动态和客户信用状况，加强回款周期管理，确保项目的顺利交付和验收，保障公司资金的充足性。另一方面，公司持续推进现有产品升级和新兴技术的产业化，核心产品夸父（KF）系列批量式 ALD 系统在维持卓越设备性能的同时，进一步优化产品设计，实现整体体积约 30%的缩减，同时产能提升 10%；TOPCon 整线工艺技术不断迭代，电池转换效率再度刷新；针对 XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术，公司研发出多款具有竞争力的产品，以满足战略客户对先进产能的需求，积极争取订单。

（3）新兴应用领域：在新兴应用领域，公司积极探索前沿技术，成功开拓了光学、柔性电子、车规级芯片等多个市场潜力巨大的应用场景，并开始获得客户订单。报告期内，公司首台 ALD 车载芯片封装量产设备顺利出货欧洲头部客户，设备在有效提升芯片性能同时，可以增强器件稳定性，延长芯片使用寿命，使电子产品能够适应更加复杂多变的应用场景，开创了 ALD 技术在车载芯片封装技术的全新应用。首台自主研发的应用于光学行业的 ALD 镀膜量产设备成功发往客户现场进行产业化验证，该设备专为消费电子光学摄像头、AR/VR 光学透镜、精密光学元器件等产品的镀膜加工工艺而设计，能显著提升器件的光学性能，助力摄像镜头等精密光学技术实现迭代升级。虽目前订单量较小，但受益于技术提升和新兴产业应用领域的不断成熟，公司该领域尖端的薄膜沉积技术的应用前景十分广阔。

二、坚定落实股东回报计划，持续分享公司发展红利

公司高度重视股东回报，致力于在稳健与持续业绩增长的前提下，保持股东回报水平的长期、稳定，提升投资者获得感。报告期内，公司制定并披露了《江苏微导纳米科技股份有限公司未来三年（2024-2026 年）股东分红回报规划》，在
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