炬光科技为上海微电子提供半导体激光退火系统及核心元器件。炬光科技的匀光器产品可以
$炬光科技(SH688167)$ 炬光科技为上海微电子提供半导体激光退火系统及核心元器件。炬光科技的匀光器产品可以将光刻机光源发出的光进行事件均匀化，以保证光刻机对被曝光的半导体晶圆进行精准的曝光，是能够决定光刻机性能的核心器件。
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