公告日期：2024-07-26

证券代码：688268 证券简称：华特气体
广东华特气体股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2024-005

投资者关系活 ☑特定对象调研 □分析师会议

动类别 □媒体采访 □业绩说明会

新闻发布会 □路演活动

□现场参观

□其他

参与单位名称 中泰证券 丁一娜、杨泽鹏；Jefferies 富瑞 张文竹；
及人员姓名 Mondrian Ormala Krishnan、Elina Grinchenko、Thomas
Morgan；华龙证券 景丹阳

时间 2024 年 7 月 24 日-2024 年 7 月 25 日

地点 公司会议室

上市公司接待 副董事长：石思慧

人员姓名 董事会秘书：万灵芝

一、公司的基本情况介绍及最近主要变化。

广东华特气体股份有限公司（以下简称“公司”），成
立于 1999 年，于 2019 年 12 月在上交所科创板上市，股票
代码：688268。公司是一家致力于特种气体国产化，并率先
投资者关系活 打破极大规模集成电路、新型显示面板、高端装备制造、新 动主要内容介 能源等尖端领域气体材料进口制约的气体厂商。

绍 公司的主营业务以特种气体的研发生产及销售为核心，
辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务，提供气体一
站式综合应用解决方案。公司的特种气体主要面向集成电
路、显示面板、光伏新能源、光纤光缆等新兴产业。随着信
息化、智能化技术的快速发展，半导体芯片及器件产品在半
导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、智能
驾驶、数据中心、消费类电子等领域得到广泛应用。公司的电子特种气体产品在电子领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯等众多产品的进口替代。公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物等产品主要应用在芯片制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等环节。公司的拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe 、Kr/Ne 、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了 ASML 和 GIGAPHOTON 的认证，是国内唯一通过两家认证的气体公司。

公司经过长期的产品研发和认证，成功实现了对国内 8寸以上集成电路制造厂商超过 90%的客户覆盖率，公司自主研发的 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne4 种混合气是国内唯一一家同时通过荷兰 ASML 公司和日本 GIGAPHOTON 株式会社认证的气体公司。公司产品已批量供应 14nm、7nm 等产线，并且公司的部分氟碳类产品、氢化物已进入到 5nm 的先进制程工艺中使用并不断扩大覆盖范围。在集成电路、显示面板等半导体领域，公司产品得到境内外大半导体厂及海外气体巨头的一致认可，充分彰显了行业下游客户对公司技术水平和生产管理能力等方面认可。

经过三十余年的发展，公司的技术积累日益深厚。截至2023 年末，公司主持或参与制定包括多项电子工业用气体国
家标准在内的 55 项标准，6 项行业标准，1 项国际标准和 11
项团体标准。公司承担了国家重大科技专项（02 专项）中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题等重点科研项目，还承担了广东省战略性新兴产业区域集聚发展试点（新一代显示技术）项目中的“平板显示器用特种气体”研发。

公司于 2017 年、2019 年、2021 年作为唯一的气体公司
连续三届入选“中国电子化工材料专业十强”。报告期内，公司荣获中国集成电路创新联盟第六届“IC 创新奖”成果产业化奖（集成电路用稀混光刻气的研发与产业化）、公司入选国家级第五批专精特新“小巨人”企业、荣获……
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