公告日期：2024-07-25

证券代码：688401 证券简称：路维光电

深圳市路维光电股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2024-014

 特定对象调研  分析师会议

投资者关系  媒体采访  业绩说明会

活动类别  新闻发布会  路演活动

 现场调研  电话会议

 其他

参与单位名 华安证券、长城证券、国信证券、民生证券、平安养老、华泰柏瑞基
称 金、淳厚基金、国寿资产、猎投资本、亘泰投资、昭图投资

调研时间 2024 年 7 月 23 日-2024 年 7 月 24 日

会议地点 公司会议室
上市公司接 董事、财务总监：刘鹏
待人员姓名 投资者关系：刘文鑫

1、请问公司的产品工艺流程？技术壁垒情况？

公司主要产品掩膜版的工艺流程主要包括 CAM 图档处理、光阻涂
布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、
精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。以上工艺流程对补偿算法、
制程能力、精度水平、缺陷管控具有严格要求，技术壁垒较高。公司
投资者关系 在多年的生产制造中已经积累了丰富的经验和技术，建立起自己的技活动内容记 术壁垒。

录 以激光光刻为例，激光直写光刻作为掩膜版制造的核心工艺，其
技术难度主要体现在产品精度控制、Mura 控制等方面。产品精度控
制涉及多个环节，不同环节之间又相互影响，包括激光与光阻的匹配、
光路结构及稳定性、激光能量曲线及调整、光刻能量及精度补偿、平
台与测量系统匹配、二次对位设计与计算等。Mura 控制的影响因素
包括光路结构及稳定性、光刻图档设计与匹配、光刻步进调整等。

光刻机厂商提供的设备系标准配置，产品的工艺匹配及指标的最
终达成需要技术人员根据不同的产品要求匹配不同的光刻模式。公司
通过多年的自主研发与积累，通过研究不同生产环节的特性及相互影
响，进行大量 DOE 测试与验证，掌握了不同特性光阻的光刻匹配、
光路结构、激光曲线、平台稳定性、精度补偿、图形补偿、光刻步进
调整、二次对位等技术方法，形成了多项专有工艺技术和工艺标准，
能满足高世代掩膜版、高精度 AMOLED 掩膜版、半色调（Half-tone）
掩膜版、高精度半导体掩膜版等高端掩膜版产品更为严苛的工艺要
求。

2、第三方掩膜版厂商的优势在哪里？

下游客户出于成本、交期、供货稳定性考虑会倾向于选择第三方
掩膜版厂商供货。公司作为第三方掩膜版厂商，产线齐全，经验丰富；
同时下游客户出于国产化率提升的需求也会更倾向于选择国内的第
三方掩膜版厂商供货。对于晶圆厂来说，公司认为其成熟制程后续会
大部分让第三方掩膜版厂商供货，先进制程方面晶圆厂出于安全保密
性考虑，下放给第三方掩膜版厂商的概率较低。目前国内没有第三方
掩膜版厂商做先进制程掩膜版，并非是因为技术原因，更多是需求方
面的因素。

3、公司产能以及产值情况？

公司产品以平板显示掩膜版和半导体掩膜版为主，部分产线既可
以用于生产半导体掩模版又可以用于平板显示掩模版。因此公司的产
品结构不仅与设备相关，更与下游客户的需求息息相关，公司会根据
产品技术、下游客户需求……
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