第三届半导体湿电子化学品与电子气体论坛日前在海南三亚举办,多氟多相关人士在会上透露,公司高端产品G5级电子级氢氟酸通过晶圆制造全球巨头验证后,将在今年下半年正式投产万吨级扩产项目。
业内人士透露,目前全球市面上最高的电子化学品等级是G5级。而晶圆制造领域,只能用G5级产品。中国电子级氟材料有望走向全球。
氟材料创新跑出新高度
多氟多是国内高端电子级氟材料的领头羊。
公司电子化学品事业部副总经理仓凌盛在会上透露,公司高纯电子级氢氟酸客户已经发展到数十家。销售对象从国内扩展到国外。同时,销量快速上升,尤其是去年,产能和销量双双猛增,目前产量1万吨左右。
仓凌盛透露,公司正在扩产,预计年内新增电子级氢氟酸产能1万吨。公司扩产目标是4万吨,但节奏将依据市场承受情况逐步释放。
电子级氢氟酸是高纯湿电子化学品当中的一种,主要用于清洁、去除氧化物,在半导体、太阳能光伏板和液晶面板制造过程当中被大量使用。
氟材料有非常好的耐高温、耐腐蚀性。氟化工产业链以萤石为起点,进而可生产氢氟酸,进而生产空调用制冷剂,动力电池用材料六氟磷酸锂,以及泛半导体用电子级氢氟酸等产品。全球氟产业链年产值超千亿元以上。
经过数十年的发展,我国正在向高技术含量、高附加值的氟化学品发展。除了传统制冷剂外,最近几年,我国工业含氟新材料发展迅猛,用于动力电池的六氟磷酸锂和PVDF,产值规模正迅速扩大,电子级氢氟酸行业也在近两年逐步崛起。
电子氟材料潜力十足
目前我国氟化工相关企业约1000家,氟化工基础及通用产品产量占全球的55%以上,现已成为世界最大的氟化工产品生产国及消费国。
据不完全统计,我国电子级氢氟酸生产厂家就有十余家,但能够达到G4级及以上的企业仅多氟多、中巨芯、滨化股份、兴发集团四家。
多氟多氟材料产业走的是上下游一体化路线。去年,其营业收入达到78亿元,归属于上市公司股东净利润为12.6亿元,同比增长分别为85.29%和2490.80%。
中巨芯主要从事电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料的研发、生产和销售。公司申请科创板IPO已经获得审核通过,目前处于提交注册阶段。公司持股结构中,巨化股份、产业投资基金并列为大股东。中巨芯IPO申报稿称,公司是国内少数能够稳定批量供应12英寸制程的集成电路制造用电子级氢氟酸的企业。本次发行新股募集资金拟投资于中巨芯潜江年产19.6万吨超纯电子化学品项目,含3万吨电子级氢氟酸。
兴发集团旗下兴福电子也是氟化工行业的佼佼者。2021年年报显示,兴福电子1万吨/年电子级硫酸、参股企业兴力电子1.5万吨/年电子级氢氟酸项目上半年提前投产,产品品质达到G5等级,湿电子化学品综合实力进一步增强。